行星齿轮减速机是一种新式的减速机，它主要是配对伺服电机马达，减速机的速比一般在3到100之间，常用的速比为4，5，7，8，10，16，20，25，30，35，40，50。其传动精度高达3弧分，重复定位精度为0.5角秒，输出端有法兰盘式与轴装式
内部采用斜齿轮，由三个行星齿轮与一个太阳齿轴所组成，太阳齿轴与伺服电机轴采用联轴器的锁紧方式，这样给伺服电机以脉冲指令，带动太阳齿轴做圆周运动，太阳齿轴驱动行星齿轮运行，输出动力。
总之，一般地，只用伺服电机带不动的负载，都是需要加行星齿轮减速机的，这样可以降低伺服电机的转动惯量，使之运行时更加平稳且传动精度基本上不变。
